光學(xué)車間檢查

共聚焦顯微鏡共聚焦顯微鏡是最商業(yè)化的光學(xué)焦點(diǎn)傳感系統(tǒng)之一。系統(tǒng)，該系統(tǒng)首先用于檢測(cè)生物樣品，最近用于測(cè)量工程表面干涉光學(xué)輪廓儀

(1)最早用于雙波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)干涉儀的干涉光學(xué)輪廓儀使用相移技術(shù)時(shí)是單色光照明。最好使用相移技術(shù)測(cè)量精度高，但是單色照明限制了測(cè)量范圍。為了能夠擴(kuò)展測(cè)試在容量范圍方面，雙波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)技術(shù)得到了進(jìn)一步發(fā)展。雙波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)全息和散斑技術(shù)中也使用干涉原理來(lái)測(cè)量大直徑分量。同時(shí)，使用條紋投影和結(jié)構(gòu)光技術(shù)

(2)白光干涉測(cè)量法白光干涉測(cè)量系統(tǒng)早已為工程技術(shù)所建立。領(lǐng)先的光學(xué)輪廓儀，用于表面測(cè)量。白光干涉法可以看作是一種光學(xué)聚焦，最佳焦點(diǎn)取決于傳感器的位置和干擾信號(hào)。此類設(shè)備的典型結(jié)構(gòu)為：它由帶有干涉物鏡的常規(guī)顯微鏡組成。這種干涉儀與其他光學(xué)和探頭輪廓技術(shù)相比，優(yōu)點(diǎn)是不會(huì)進(jìn)行全場(chǎng)掃描，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)掃描。由于整個(gè)區(qū)域同時(shí)成像，因此水平掃描我不再需要了這也大大提高了測(cè)量速度。

(3)各頻譜干涉儀的干擾技術(shù)形成的干涉條紋稱為頻譜干涉條紋。光譜干擾會(huì)通過(guò)使用干涉儀的可調(diào)源獲取干涉儀或在干涉儀輸出端使用它將分散元素放置在末尾以實(shí)現(xiàn)。不同的系統(tǒng)稱為波長(zhǎng)掃描干涉儀器或經(jīng)光譜解析的白光干涉儀。這種測(cè)量技術(shù)不再是找到每個(gè)點(diǎn)的最重要方法。最重要的是測(cè)量邊緣時(shí)段，其中包含測(cè)量目標(biāo)的位置信息。這個(gè)技術(shù)避免了軸向機(jī)械掃描。

(4)干涉光學(xué)輪廓儀的光學(xué)測(cè)距傳感器經(jīng)常使用的技術(shù)已經(jīng)確立?；诟缮媸焦鈱W(xué)測(cè)距傳感器技術(shù)或基于傳感技術(shù)開(kāi)發(fā)這種傳感技術(shù)主要用于基于單個(gè)點(diǎn)的絕對(duì)距離或長(zhǎng)度測(cè)量。量。要執(zhí)行單點(diǎn)檢測(cè)，您需要使用更快的檢測(cè)器和光電設(shè)備，這是一種用于特殊任務(wù)的信號(hào)處理技術(shù)。

(5)偏振干涉儀某些干涉儀使用光的偏振特性。類似于微分干涉，兩條光束在干涉儀內(nèi)遵循幾乎相同的路徑。顯微鏡也是如此。偏振干涉儀使用偏振光來(lái)實(shí)現(xiàn)相移。這通常對(duì)振動(dòng)的敏感性低。在評(píng)估某些亞顯微結(jié)構(gòu)特性時(shí)，光的偏振特性非常重要。有效。